六氟化硫被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展,SF6涉及的领域不断扩展,被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用,在制冷行业,用六氟化硫做制冷剂,致冷范围可在-45℃~0℃之间。
六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体,在光导纤维的生产过程中,也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。在大气污染监测和水文地质检测领域,常用六氟化硫作为示踪剂。
六氟化硫多用作电子设备、波导、粒子加速仪器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医学,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
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