ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器维修无显示，控制电路与无输出，电源损坏，带不起负载

ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器维修无显示，控制电路与无输出，电源损坏，带不起负载找深圳市佳轩工业自动化有限公司为半导体工厂，液晶面板工厂等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL等各品牌射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修

电源维修范围：AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修

射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统

凡经本公司维修过的设备均使用原装器件跟换其稳定性，修复过的设备经过本公司的测试平台带负载测试，电路板的关键部位均做绝缘喷漆处理，电路上老化的元器件（滤波电容，散热器，风扇等）均跟换或重新做散热处理，设备使用中的稳定性与可靠性。

维修速度快产品五个工作之日内修复。(*2个工作日，特急1个工作日或到现场为您解决问题.)维修后先检查故障原因，列出故障部件明细及价目传真至客户，经客户同意后再行修理。维修低 固定长期合作的配件供应商，限度的降低客户维修。维修 本维修中心工程师都具有多年维修经验，精通进口产品。维修设备精 本维修中心配有的维修仪器，测试台及系列负载试验设备。维修配件齐 配有充足、的零部件，维修的顺利进行。维修有** 修理过的设备如出现同类故障，针对相同故障，我们提供**长保修时间

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY） 2、RFPP射频电源 3、MKS/ENI射频电源 4、AD-TEC射频电源 5、COMDEL射频电源 6、DAIHEN射频电源7、HUTTINGER射频电源8、KYOSAN射频电源9、SEREN射频电源10、VEECO射频电源11、NP射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER **SMA)射频电源匹配

　4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源 2、ADVANCE HIVOLT高压电源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源 5、SPELLMAN高压电源 6、Varian高压电源 7、其他品牌

四、直流电源

　　1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电 4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源

　　6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO（Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

　1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源3、ASTeX Smart Match

ADL直流电源GP系列维修：GP10/800 GP15/800 GP20/800 GP30/800 GP30/1000ADL POWER GP60/800 GP100/800 GP120/800 GP150/800

AE电源系统:AE电镀电源、AE射频电源RFG：RFG80、RFG1250、RFG1250HALO、RFG1251、RFG3000、RFG3001、RFG5500、RFG2K-2VRFDS1250、RFDS1250-A、RFDS3000、RFDS2Kw-2KV APEX：Apex1513、Apex2027、Apex3013、Apex4027、Apex5513、Apex7kW/13、Apex10kW/13、Apex3513、Apex10013、Apex8013Atlas2、Atlas1513、Atlas3013、Atlas2504、Atlas2027、Atlas2012、Atlas4012、Atlas5002、Atlas5012、Atlas5013、Atlas5027、RapidF RFX：RFX600、RFX600A、RFX1250、RFX2500、RFX5500、RFG-AZX RFXII：RFXII1250、RFXII3000、RFXII5500 HFG：HFG2500、HFG5000、HFG4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L3KW OvationVHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162 ICPGenerator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW DresslerHPG:HPG03300、HPG13150、HPG13300、HPG27300 DresslerCesar:Cesar0210、Cesar0220

维修射频电源，首先用万用表检测各功率部件是否击穿短路，如电源整流桥堆，开关管，高频大功率整流管；抑制浪涌电流的大功率电阻是否烧断。再检测各输出电压端口电阻是否异常，上述部件如有损坏则需更换