闽台Chroma6530可编程变频电源维修

闽台Chroma6530可编程变频电源维修找深圳市佳轩工业自动化有限公司为半导体工厂，液晶面板工厂等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL等各品牌射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修

电源维修范围：AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修

射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统

凡经本公司维修过的设备均使用原装器件跟换其稳定性，修复过的设备经过本公司的测试平台带负载测试，电路板的关键部位均做绝缘喷漆处理，电路上老化的元器件（滤波电容，散热器，风扇等）均跟换或重新做散热处理，设备使用中的稳定性与可靠性。

维修速度快产品五个工作之日内修复。(*2个工作日，特急1个工作日或到现场为您解决问题.)维修后先检查故障原因，列出故障部件明细及价目传真至客户，经客户同意后再行修理。维修低 固定长期合作的配件供应商，限度的降低客户维修。维修 本维修中心工程师都具有多年维修经验，精通进口产品。维修设备精 本维修中心配有的维修仪器，测试台及系列负载试验设备。维修配件齐 配有充足、的零部件，维修的顺利进行。维修有** 修理过的设备如出现同类故障，针对相同故障，我们提供**长保修时间

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY） 2、RFPP射频电源 3、MKS/ENI射频电源 4、AD-TEC射频电源 5、COMDEL射频电源 6、DAIHEN射频电源7、HUTTINGER射频电源8、KYOSAN射频电源9、SEREN射频电源10、VEECO射频电源11、NP射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER **SMA)射频电源匹配

　4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源 2、ADVANCE HIVOLT高压电源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源 5、SPELLMAN高压电源 6、Varian高压电源 7、其他品牌

四、直流电源

　　1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电 4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源

　　6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO（Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

　1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源3、ASTeX Smart Match

ADL直流电源GP系列维修：GP10/800 GP15/800 GP20/800 GP30/800 GP30/1000ADL POWER GP60/800 GP100/800 GP120/800 GP150/800

AE电源系统:AE电镀电源、AE射频电源RFG：RFG80、RFG1250、RFG1250HALO、RFG1251、RFG3000、RFG3001、RFG5500、RFG2K-2VRFDS1250、RFDS1250-A、RFDS3000、RFDS2Kw-2KV APEX：Apex1513、Apex2027、Apex3013、Apex4027、Apex5513、Apex7kW/13、Apex10kW/13、Apex3513、Apex10013、Apex8013Atlas2、Atlas1513、Atlas3013、Atlas2504、Atlas2027、Atlas2012、Atlas4012、Atlas5002、Atlas5012、Atlas5013、Atlas5027、RapidF RFX：RFX600、RFX600A、RFX1250、RFX2500、RFX5500、RFG-AZX RFXII：RFXII1250、RFXII3000、RFXII5500 HFG：HFG2500、HFG5000、HFG4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L3KW OvationVHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162 ICPGenerator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW DresslerHPG:HPG03300、HPG13150、HPG13300、HPG27300 DresslerCesar:Cesar0210、Cesar0220

维修射频电源，首先用万用表检测各功率部件是否击穿短路，如电源整流桥堆，开关管，高频大功率整流管；抑制浪涌电流的大功率电阻是否烧断。再检测各输出电压端口电阻是否异常，上述部件如有损坏则需更换