高纯度氧在生命中起着非常重要的作用。主要应用于冶金、化工、*、医疗等行业。它给我们的日常生活带来了很多帮助和便利。
高纯气体的主要用途
1、硅烷硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、生长磷硅玻璃薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光器介质等,还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
2、锗烷金属锗是一种良好的半导体材料,锗烷在电子工业中主要用于化学气相淀积,形成各种不同的硅锗合金用于电子元器件的制造。
3、磷烷主要用于**合成,在电子工业中主要用于硅烷外延的掺杂剂,磷扩散的杂质源。同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、离子注入工艺、化合物半导体的MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)纯化膜制备等工艺中。
高纯氮气的特性
高纯氮气是常见的一种高纯气体,其几乎为惰性的双原子气体,化学性质不活泼,气体分子也比氧分子大,不易热胀冷缩,变形幅度小,应用该范围非常广泛。
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